Polieren

Beim Polieren werden die Werkstücke zwischen zwei planparallelen Polierscheiben bearbeitet.

Die Kinematik lässt sich als Doppel-Quer-Seiten-Planprozess mit zykloidaler Werkstückbewegung beschreiben. Durch die obere Polierscheibe gelangt die Polierflüssigkeit in den Arbeitsspalt. Beim Abrollen der Körner entstehen Mikrorisse an der Oberfläche der Werkstücke, welche durch Rissvernetzung zum Ausbrechen kleinster Partikel führen. Dieser Abtrag tritt zusammen mit dem Poliermittel seitlich aus dem Arbeitsspalt aus. Der Abtrag ergibt sich aus den Prozeßparametern wie Scheibendrehzahl, Normalkraft oder der verwendeten Poliersuspension. Die polierte Oberfläche weist eine regellose im Allgemeinen reflektierende Struktur auf.

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